chroma 7503 三维光学轮廓仪

chroma 7503 三维光学轮廓仪

主要特色：阶高量测分辨率可达0.1 nm使用白光干涉量测技术，非破坏性、快速表面形貌量测与分析模块化设计可依量测需求及预算考虑进行各部件选配可搭配彩色或单色相机进行2D量测，使系统亦具备工具显微镜量测功能搭载电动鼻轮，可同时挂载多种物镜并程控切换使用可选择LED光源或是卤素光源量测范围可涵盖150 mm x150 mm整合低倍率物镜(5X与2.5X倍率)，可进行大面积3D量测提供多种表面参数量测功能，如断差高度、夹角、面积、体积、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度具备暗点以及边界错误问题修正算法友善的人机接口，简单的图形化控制系统及3D图型显示可交换式的文件格式，可储存与读取数种3D轮廓文件格式强大的STA Master表面轮廓分析软件，提供超过150种线、面轮廓参数计算自动化快速自我校正，确认系统量测能力提供中/英文程序界面切换提供脚本量测功能，具备自动量测能力

Chroma 7503三维光学轮廓仪乃利用扫描白光干涉技术所发展之次奈米三维光学轮廓量测仪，透过精密的扫描系统以及创新算法进行微奈米结构物表面轮廓的量测与分析。并可依据需求搭配彩色或单色相机进行2D量测，使系统亦具备工具显微镜量测功能，达到一机多用途的目的。Chroma 7503新一代的系统模块化设计，具备高度弹性之组合配置，可针对不同之量测需求配置来符合不同之量测应用：搭载电动鼻轮，多可同时挂载5种物镜，使用时直接切换，省去手动更换的麻烦。同时配备电动调整移动平台，可对样品作自动调平及定位。垂直与水平轴向扫描范围大，适合各种自动量测之应用，样品皆不需前处理即可进行非破坏、快速的表面形貌量测与分析，适合使用于业界研发生产、制程改善以及学术研究等单位。Chroma 7503之高度分辨率可达0.1 nm，而搭配使用Z垂直轴量测扫描行程更可达到100mm，且水平轴向亦可达次微米解析，除此Chroma 7503 可透过计算机控制移动平台进行水平扫瞄，使其水平轴向量测范围可达到150 × 150mm，并可依据客户需求修改平台尺寸。Chroma 7503搭配快速的校正程序以及演算原理，系统校正结果可以追朔至NIST标准，并结合数种创新且强固可靠的算法，因此本系列产品可同时拥有高精准度以及大范围量测的特质。Chroma 7503系统配备自动化扫描平台，藉由垂直轴自动化移动平台的扫描功能搭配快速的自动对焦算法，可有效辅助用户找到佳的对焦位置，另外藉由倾斜调整平台可快速地将待测物调平，在短短的几秒钟之内无需繁复的操作，系统即可自动将待测物体调整*对焦位置并予以调平进行量测。

目前商用白光干涉分析仪常使用之质心算法来计算表面高度，因光线绕射的效应在某些位置产生错误高度计算，造成量测结果边界轮廓出现错误的信息，本系列产品采用新开发3D Profiler Master量测软件，并搭配Chroma干涉讯号处理算法来分析白光干涉图谱，可将边界错误问题予以避免。此外，系统亦搭载Chroma的暗点处理功能，可有效过滤并修正无法产生干涉之问题数据点，将这些暗点去除后可降低量测上的误差。由于暗点处理的机制在资料撷取期间执行，因此暗点滤除功能可有效率的执行，由于暗点乃参考其附件周围数据来进行修正，因此可使得量测更加强固且可靠。STA (Surface Texture Analysis) Master软件针对表面轮廓数据分析、修正以及图标提供完整的面形貌呈现，更提供超过150种线或面的轮廓参数计算，其中包含粗度、起伏、平整度、顶点与谷点等参数资料，高通滤波、低通滤波、快速傅立叶变换以及尖点移除空间滤波等工具提供使用者进行高/低/带通讯号滤除，且软件亦具备多项式拟合、区域成长、整面及多区域调平方法，可灵活运用于数据处理与分析上。在众多高科技产业中，诸如半导体、平面显示器、光纤通讯、微机电(MEMS)、生物医学与电子封装等，由于微结构表面轮廓的准确性决定了产品的效能与功能，在其制程中皆需针对微结构的表面轮廓质量进行监测。有鉴于此，Chroma 7503提供多种表面参数量测功能，如断差高度、夹角、面积、体积、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度以满足业界与研究单位之需求。Chroma 7503兼具2D与3D量测，搭配快速倍率切换以及大面积接图功能能应付产业界的各种应用需求。此外更加入弹性的模块化设计，可依客户端实际的应用需求进行搭配，让用户可在价格与功能规格之间取得平衡，是您提升效率及节省成本的佳选择。7503 三维光学轮廓仪 Imaging system 影像系统 640x480 pixel (mono),640x480 pixel (color), 1000x1000 pixel (mono) *1, 1000x1000 pixel (color) *1 Interference ive lens 一般物镜 2.5X *2, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X Conventional ive lens 干涉物镜 5X, 10X, 20X, 50X, 100X Tube lens 筒镜 0.45X, 0.5X, 1.0X Nose gear 鼻轮 None, Manual rotary 5 holes, Electric rotary 5 holes Light Source 光源 White light LED, Halogen, Mono LED Software 软件 STA Master 7503 service Measurement Service

Agilent 83497A 光电时钟恢复模块

Agilent 8157A 光衰减仪

Agilent 81637B 快速功率计

Agilent 34570A 数字万用表

Agilent 44476A 微波复用器模块

Agilent 70004A 光谱分析仪

Agilent 81000FI 光纤连接器

Agilent 81002FF 积分球

Agilent 81521B 光功率计探头

Agilent 81524A 光功率探头

Agilent 81525A 大功率光学探头

Agilent 81533A 接口模块

Agilent 81533B 接口模块

Agilent 81536A 光功率计传感插件

Agilent 81560A 可变光衰减器

Agilent 81567A 可变光衰减器模块

Agilent 8156A 光衰减器

Agilent 81578A可变光衰减器模块

Agilent 81610A回损测试模块

Agilent 81619A 光功率模块

Agilent 81624A 光学探头

Agilent 81625A 光功率探头

Agilent 81633A 分布式反馈(DFB)激光器

Agilent 81635A 双光功率传感器

Agilent 8163A光功率计主机

Agilent 8163B 光功率计

Agilent 8164A 光波测量系统主机

Agilent 81650A 单法布里-珀罗激光源

Agilent 81651A 光源模块

Agilent 81654A 法布里-珀罗激光源

Agilent 81662A 分布式反馈(DFB)激光器

Agilent 8168E 可调谐激光源

Agilent 83440D光波转换器

Agilent 83480A 数字通信分析仪

Agilent 83483A 双通道电模块

Agilent 83486A 光电模块

Agilent 83487A 光电模块

Agilent 83492A 多模时钟模块

Agilent 83493A 单模时钟恢复模块

Agilent 83494A 单模时钟恢复模块

Agilent 83495A 时钟恢复模块

Agilent 83496A 光电时钟恢复模块

Agilent 86100A 光示波器

Agilent 86100C 宽带示波器主机

Agilent 86103A 光电模块

Agilent 86103B 光电模块

Agilent 86105A 光电模块

Agilent 86105B 光电模块

Agilent 86106B 光电模块

Agilent 86107A 精密时基参考模块

Agilent 86120B 多波长计

Agilent 86120C 多波长计

Agilent 86142B 高性能光谱分析仪

Agilent 86146b 光谱分析仪

Agilent N7740 多端口光功率计

Ando AQ2140光功率计

Ando AQ2730光功率计模块

Ando AQ2742 光功率传感器

Ando AQ2743 光功率传感器

Ando AQ4211LD组件

Ando AQ4215 光功率计

Andu AQ-4137 光源

Andu AQ-4142 光源

Anritsu 69347B 信号源

Anritsu MN9610B光衰减器

Anritsu ms9710c 光谱分析仪

Anritsu MS9740A 台式光谱分析仪

CVI Melles Griot 05-LHP-211-1 激光器

Ericsson FSU-975 光纤熔接机

Exfo IQS-3150 可变衰减器

EXFO WA-1650 光波长计

HP 8153A 光功率计

HP 8153B 光波万用表

HP 81551MM 点光源模块

HP 83540A 插件信号源

HP 8595E 频谱分析仪

IFR GPS-101定位系统模拟器

Jdsu HA9 光衰减器

JDSU OLP-55 光功率计

Keithley 7001半导体开关系统

Keithley 2001A 数字多用表

Keithley 2400 数字源表

Keithley 2400-C 数字源表

Keithley 2500 数字源表

Keithley 2502 数字源表

KEITHLEY 6221 电流源表

Keysight 11708A 衰减器垫

Keysight 3458A 数字多用表

Keysight 34903A GP开关模块

Keysight 81570A 可变光衰减器模块

Keysight 81618A 接口模块

Keysight 81623B 锗光功率探头

Keysight 81630B 大功率光传感器

Keysight 81634B 低偏振相关光功率传感器

Keysight 81636B 光功率传感器

Keysight 8164B 光波测量系统主机

Keysight 82357B GPIB 卡

Keysight 86100D 宽带宽示波器主机

Keysight 86105C 光电采样模块

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Keysight E3631A 三路输出电源

Keysight J7231B 抖动通信性能分析仪

Keysight N5181A 射频模拟信号发生器

Keysight N5980A 比特误码率测试仪

Keysight N7744A 多端口光功率计

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Newport 818-IG高性能光电二极管传感器

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Newport 918-ir 高性能光电二极管传感器

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NI PXI-1031 板卡

Photom EP-712 光功率计

Picometrix PT-12B 光电转换芯片

R&S FSP3 频谱分析仪

R&S NRPZ51 射频功率计

R&S NRPZ55 射频功率计

R&S NRP-Z55 射频功率计

Tektronix DPP125B 误码仪

Tektronix 80C02 光采样模块

Tektronix 80E04 双通道时域反射计

Tektronix DSA8200 采样示波器

Tektronix DSA8300 数字采样示波器

USHIO UXM-Q256BY点光源

YOKOGAWA AQ2200-421 单槽型光开关

YOKOGAWA AQ2201 帧控制器主机

 光示波器/眼图仪—Agilent 86100A, Agilent 86100B, Agilent 86100C, Agilent 86100D,Agilent 86105A, Agilent 86105B, Agilent 86116C, Agilent 86105D, Agilent 86103A, Agilent 86106B, Agilent 86103B, Agilent 83493A, Agilent 83496A, Agilent 86118A, Agilent 54754A，Tektronix DSA 8300，Tektronix DSA 8200，Tektronix 80C08，Tektronix 80C15，Tektronix 80C07, Tektronix 82A04，Tektronix 80E04,Anritsu MP2100B光谱分析：Agilent 86142B, Agilent 86146B,Agilent 86140B,Anritsu MS9740A,Anritsu MS 9710C,Anritsu MS9710B,Yokogawa 6317B,Yokogawa:6370D波长计：Agilent 86122A,Agilent 86120B,Agilent 86120C,EXFO WA1600,EXFO WA1650,EXFO WA1100光衰减器：Agilent 8156A,Agilent 8157A，Agilent 81570A,Agilent 81571A,Agilent 81576A,Agilent 81577A，Agilent 81567A,JDSU HA-9光万用表:Agilent 8164A,Agilent 8164B,Agilent 8163A,Agilent 8163B,Agilent 8153A,Agilent 8166B,Agilent N7744A,Agilent N7745A,Agilent N7748A,Agilent 81632B,Agilent 81633A,Agilent 81634A,Agilent 81634B,Agilent 81635A,Agilent 81636B,Agilent 86137B,Agilent 81623A,Agilent 81623B,Agilent 81624A,Agilent 81624B,Agilent 81625A,Agilent 81625B,Agilent 81626B,Agilent 81628B,Agilent N7752A误码仪：Agilent N5980A,Agilent N4901A,Agilent N4903A,Agilent N4906A光开关：Agilent 81595B,Agilent 86062C,JDSU SB optical switch可调光源：Agilent 81640A,Agilent 81642A,Agilent 81680A，Agilent 81682A，Agilent 81600B网络分析仪：Agilent E5071C，Agilent 8722ES,Agilent 8720ES,Agilent E5061B,Agilent E5062A，R&S ZNB射频信号源：Agilent E4438C,Agilent 8257D，Agilent N5181A,Agilent N5182A,Aglent N5182B,Agient N5183A,Agilent 8257D，Agilent 8267D频谱分析仪：Agilent E4440A,Agilent N9010A，Agilent N9020A，Agilent N9030AWifi/蓝牙测试仪：Anritsu 8852B,LitePoint IQxel 80，,LitePoint IQXEL 160，,LitePoint 2011，,LitePoint IQ flex，Agilent N4010A