chroma 7936 双面晶圆检测系统

chroma 7936 双面晶圆检测系统 

主要特色：可同时检测晶圆正反两面大可检测 8 吋晶圆 (检测区域达10 吋范围 )可因应不同产业的晶粒更换或新增检测项目上片后晶圆自动对位机制自动寻边功能可适用于不同形状之晶圆瑕疵规格编辑器可让使用者自行编辑检测规格瑕疵检出率高达 98%可结合上游测试机晶粒资料，合并后上传至下一道制程设备提供检测报表编辑器，使用者可自行选择适用资料并进行分析

Chroma 7936晶圆双面检测机为自动化的切割后 晶粒检测机，可以同时间进行正反两面的晶粒外 观检查。使用先进的打光技术，可以清楚的辨识 晶粒的外观瑕疵。结合不同的光源角度、亮度及 取像模式，使得7936可以适用于新的制程如垂 直结构晶粒或是覆晶晶粒。由于使用的高速相机以及自行开发之检测演算 法，7936可以在4.5分钟内检测完2 吋 LED晶圆， 换算为单颗处理时间为35msec。7936同时也提 供了自动对焦与翘曲补偿功能，以克服晶圆薄 膜的翘曲与载盘的水平问题。7936可配置2种不 同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸选择检测 倍率。系统搭配的小解析度为0.7um，一般来 说，可以检测2um左右的瑕疵尺寸。系统功能 在扩膜之后，晶粒或晶圆可能会产生不规则的 排列，7936也提供了搜寻及排列功能以转正晶 圆。此外，7936拥有人性化的使用介面可降低 学习曲线，所有的必要资讯，如晶圆分布、瑕疵 区域、检测参数及结果等，均可清楚地透过软体 介面呈现。瑕疵资料分析 所有的检测结果均会被记录下来，而不仅仅是 良品/不良品的结果。这有助于找出一组佳参 数，达到漏判与误判的平衡点。瑕疵原始资料亦 有帮助于分析瑕疵产生之趋势，并回馈给制程人 员进行改善。综合上述说明，Chroma 7936是晶圆检测制程考 量成本与效能的佳选择。

7936 双面晶圆检测系统

深圳市美佳特科技有限公司（简称“美佳特"）成立于2010年，致力于光通讯测试、通用电子测量及5G测试服务。美佳特以“无线沟通，沟通无极限 "企业使命，业务聚焦于精密测试测量仪器的租赁、销售、维护、计量及测试环境搭建等一站式服务。chroma 7936 双面晶圆检测系统‍

主营产品：示波器主机和模块、眼图仪、光谱仪、信号源、频谱分析仪、网络分析仪、阻抗分析仪、光通信仪器、误码仪、光时域反射仪、可调谐激光源、光功率计、光衰减器等。合作品牌：安捷伦、是德、泰克、安立、爱得万、安腾、力科、马可尼（IFR）、R&S、EXFO等。

主推：Agilent 86100D/C 示波器,keysight M8195A 任意波形发生器,Anritsu MS9740B/A 光谱分析仪,YOKOGAWA AQ6370D/E 光谱分析仪,keysight N1092A/C 采样示波器,keysight E8257D 模拟信号发生器,keysight E5071C 矢量网络分析仪