Keysight 34420A 纳伏表/微欧表详解

Keysight 34420A 是是德科技（Keysight Technologies）推出的一款Keysight 是德34420A 纳伏表微欧源表，集成了纳伏级电压测量和微欧级电阻测量能力，专为低电平信号检测、微小电阻测量和精密传感器测试设计。该仪器在半导体材料分析、超导研究、航空航天和计量校准等领域具有关键应用。

1. 核心功能与特点

1.1 超高灵敏度测量

• 电压测量：

• 量程：10 nV ~ 100 V

• 分辨率：1 nV（最小可测信号）

• 精度：±0.0035% 读数 + 100 nV（1年校准）

• 电阻测量：

• 量程：10 μΩ ~ 100 MΩ

• 分辨率：0.1 μΩ（四线制）

• 精度：±0.05% 读数 + 0.5 mΩ（1年校准）

1.2 低噪声技术

• 输入噪声：< 50 nV p-p（10 Hz ~ 1 kHz带宽）

• 共模抑制比：> 120 dB（50 Hz/60 Hz）

• 热电动势补偿：自动消除导线温差引起的误差（< 100 nV）

1.3 灵活配置

• 四线制（开尔文）测量：消除接触电阻影响

• 内置电流源：

• 可编程电流：1 μA ~ 100 mA

• 支持DC/脉冲模式（避免被测器件发热）

• 多通道扫描：通过外部开关矩阵扩展至多点位测试

2. 典型应用场景

2.1 半导体与材料研究

• 晶圆级接触电阻：测量金属互连线的Rc（< 1 mΩ）

• 超导材料临界电流：检测nV级失超信号

• 热电材料塞贝克系数：微伏级温差电势测量

2.2 精密制造与计量

• 标准电阻校准：10 μΩ ~ 1 kΩ标准件传递

• 继电器触点电阻：评估寿命老化（μΩ级变化）

• PCB导通电阻：高密度封装互连测试

2.3 航空航天与能源

• 卫星太阳翼电路：nV级漏电流检测

• 电池内阻分析：充放电循环中的μΩ级变化

• 电流传感器分流电阻：高精度标定

3. 技术规格

4. 系统配置方案

基础配置

• 34420A主机

• 低热电动势测试线（镀金触点）

• 四线制开尔文测试夹具

扩展选件

• 34420A-001：高稳定性恒流源（±1 ppm/°C）

• 3499A开关矩阵：支持多通道自动扫描

• N6705C电源模块：为被测器件供电

5. 操作示例（超导材料测试）

1. 连接被测样品：

• 使用四线制接法，避免引线电阻影响。

2. 设置参数：

• 电流源输出 10 mA（脉冲模式防发热）。

• 电压量程 100 mV，带宽限制 10 Hz。

3. 数据采集：

• 监测电阻跃迁至 0 Ω（临界温度Tc点）。

4. 分析结果：

• 绘制R-T曲线，计算超导转变宽度。

6. 与同类仪器对比

7. 总结

Keysight 34420A 凭借其 nV/μΩ级测量能力 和 低噪声设计，成为以下领域的标准工具：

• 前沿材料研究（如石墨烯、超导体）

• 高精度制造（芯片封装、航天电子）

• 计量实验室（标准电阻/电压传递）

对于需要检测极微弱信号或微小电阻变化的用户，34420A 提供了远超普通万用表的测试极限。如需技术资料或演示，Keysight 是德34420A 纳伏表微欧源表