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详细介绍
| 品牌 | Keithley/美国吉时利 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
Keithley 4210-SMU 是 吉时利（Keithley） 推出的一款 半导体测试的精密源测量连接器（Source Measure Unit, SMU），专为 半导体器件测试、材料特性分析、纳米技术研究 等应用设计。作为 4200-SCS 半导体特性分析系统 的关键组件，4210-SMU 能够 同时提供精确的电压/电流激励并测量微弱的响应信号，适用于 晶体管、二极管、存储器、MEMS 等器件的电学性能测试。
可同时作为电压源、电流源、电压表、电流表，支持 源（Source）与测量（Measure）同步操作。
四象限输出：
第1象限：正电压 + 正电流（如正向偏置测试）
第2象限：正电压 + 负电流（如太阳能电池测试）
第3象限：负电压 + 负电流（如反向偏置测试）
第4象限：负电压 + 正电流（如特殊器件特性分析）
电压范围：±200V（最高可达±210V）
电流范围：±100mA（可测10f电流）
分辨率：
电压：1μV
电流：10fA
精度：
电压：±0.015% of reading
电流：±0.03% of reading
支持 脉冲式输出（最短脉冲宽度100μs），避免器件因长时间通电发热而影响测试结果。
高速采样：最高可达10k samples/s（14-bit ADC），适合 瞬态特性分析。
采用 低噪声电路架构，特别适合 纳米器件、低维材料（如石墨烯）、光电探测器 等微弱信号测量。
Guard端子：减少漏电流干扰，确保高阻测量准确性。
兼容4200-SCS系统：可与其他SMU模块（如4200-PA前置放大器）协同工作。
支持SCPI命令：通过GPIB、LAN、USB接口远程控制。
软件支持：
Keithley Interactive Test Tool (KITT)：图形化测试界面。
LabVIEW驱动：便于自动化测试系统开发。
晶体管特性分析：Id-Vd、Id-Vg曲线测量（MOSFET、HEMT等）。
二极管参数测试：击穿电压（BV）、反向漏电流（Ir）。
存储器测试：RRAM、PCRAM的阻变特性。
低维材料电学性能：石墨烯、碳纳米管的载流子迁移率。
光电探测器：响应度、暗电流测量。
TDDB（时间依赖介电击穿）：监测介质层失效过程。
HCI（热载流子注入）：评估器件寿命。
压电器件、热电偶的IV特性分析。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 电压范围 | ±200V（可扩展至±210V） |
| 电流范围 | ±100mA（10fA） |
| 输出功率 | 20W（连续模式） |
| 分辨率 | 电压：1μV，电流：10fA |
| 精度 | 电压：±0.015%读数，电流：±0.03%读数 |
| 采样率 | 最高10k samples/s |
| 接口 | GPIB、LAN、USB |
| 兼容系统 | 4200-SCS半导体特性分析系统 |
| 型号 | 4210-SMU | 2450-SMU | 2636B |
|---|---|---|---|
| 电压范围 | ±200V | ±200V | ±200V |
| 电流范围 | ±100mA | ±1A | ±10A（脉冲） |
| 分辨率 | 10fA | 1pA | 10fA |
| 应用重点 | 半导体器件精密测试 | 通用材料测试 | 高电流功率器件测试 |
Keithley 4210-SMU 是一款 面向科研与半导体测试的精密源测量连接器，其 高精度、低噪声、四象限操作 特性使其成为 纳米器件、新型半导体材料研究 的理想工具。通过与4200-SCS系统配合，用户可以实现 从DC到脉冲测试的全套电学表征方案。
如需更详细的技术资料或应用案例，建议访问 Keysight Technologies（是德科技） 或联系当地技术支持。
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