chroma 7200 series 光伏电池片与硅片自动化检测系统

chroma 7200 series 光伏电池片与硅片自动化检测系统

主要特色：可与不同自动化线体厂商进行整合高扩充性的演算法编辑器，可以针对5”以及6”的单晶、多晶、类单晶等结构进行检测多样化介面可与其他设备或者工厂管理系统(MES)做结合可检测钻石线切割的硅晶圆自动光源监控以及校正设计

在众多可以帮助光伏产业迈向"市电同价"的重要因素之中，光伏组件的可靠度是一 个非常重要的关键因素。有些光伏组件安装初期的失效原因常常来自于在光伏电池 片阶段的外观不良，例如边缘缺角，表层剥落，或者是铝凸等。而这些瑕疵也就变 成光伏电池片制造商在品质把关时候的一个非常重要的课题。因此，对于光伏模组 的品质以及可靠度来讲，硅晶圆以及电池片的瑕疵检验就显得相当重要。另外由于越来越多"光电建筑一体化"的应用以及"家用屋顶安装"的应用，即使是像水 痕或者脏污等那些对于可靠度没有造成直接影响的瑕疵，对于买家而言也会变成是 有视觉瑕疵的次级品。而传统上来讲，所有的瑕疵都是轮班人员用目检筛选出来的。但是由于人眼容易疲 劳且检测标准不*，所以在生产线上使用自动化光学检测仪器(AOI)来取代轮班人 员检测，是一个越来越受重视的外观检测替代方案。Chroma 7200系列就是为了可以检测所有产线上生产的硅晶圆以及电池片的瑕疵所设 计的。Chroma 7200可以检测5"以及6"的尺寸，而且可以检测单晶，多晶甚至是准 单晶的成品。根据不同的生产制程，总共有8种不同功能的AOI机器可供搭配成"硅晶圆 进料"检验或者是"丝网印刷"检验甚至是"电池片出货"检验等不同用途。

太阳能硅晶圆外观暨表面脏污检测机 Model 7201 Chroma 7201可用来检测硅晶圆长度、宽度、对角线、边缘 夹角、导角尺寸以及导角角度等，同时也可以检测表面瑕 疵。设计完善的软体以及操作介面可供使用者设定不同的 检测参数来达到检测结果，同时也提供瑕疵显示以及储存 功能来留待日后进行MES/CIM的分析以及整合。太阳能硅晶圆品质检测机 Model 7202 为了提供高重复性的晶格尺寸检测结果，Chroma在7202上头使用了* 的光学设计来强化晶格特征。而当晶格尺寸可以被量化之后，分类好的硅晶圆 就可以套用于不同的生产工艺，拿来在不同的电池片生产线进行生产，藉以 提高电池片生产时候的平均转换效率。 7202同时也可以检测孔洞瑕疵。而孔洞瑕疵正是造成太阳能模组失效的 μ-crack或者严重local shunting的原因。太阳能硅晶圆线锯痕检测机 Model 7231 切割线锯痕是由于切割时候的杂质影响或者是切割线振动所造成的。有时候发生 在边缘而也有可能发生在硅晶圆中间的位置。由于Chroma使用EN 50513 2009的检 测手法来进行光学设计，所以即使是发生在硅晶圆中央位置的切割线锯痕，也可以 正确检测无误。太阳能电池片颜色分选机 Model 7211-D Chroma 7211-D是为了提供高度重复性的电池片分色结果而设计的。由于使用了CIE 1931 Lab的色彩空间以及将电池片分割成至多60X60的颜色检测区域，7211-D可以 提供将近3600个区域的颜色资讯，供颜色分选时候的参数设定使用。透过各种颜色 资讯以及使用者自订的分色方法，即使是像多晶时候的非均匀颜色分布，或者是非 均匀的抗反色层厚度，都可以被精准的定义出来。 Chroma 7211-D也可以使用于抗反射层镀膜的制程之后，来确保只有均匀镀膜完成 的电池片才进行丝网印刷。在此同时，镀膜不均匀的电池片则可以被保存下来进行 重工。7211-D可以被整合在整线生产的分选器上或者是出货前的离线电池片分选器 上。太阳能电池片正面印刷暨表面脏污检测机 Model 7212-HD 太阳能电池片的正面印刷瑕疵可能会造成外观瑕疵或者可靠度表现上的不良影响。因此，像是"主栅线的银浆缺失"、"栅线断栅"、"印刷偏移"、"水痕"等，皆需要透过可信赖且高准确性的光学检测仪器(AOI)来进行筛选，以保持出货电池片的高品质。Chroma 7212-HD正面印刷暨表面检测机配备了高解析度的摄像头以及优异的软体演算法来筛选出您所想要拦检的正面瑕疵。 Chroma 7212-HD可以安装在丝网印刷工艺之后，来警告产 线注意丝网的清洁时间或者浆料的添加时间，并且淘汰印刷 失败的电池片。而这样一来也可以提高后段的I-V测试以及分 选过程的产出速度。7212-HD也可以被整合在整线生产的分 选器上或者是出货前的离线电池片分选器上。太阳能电池片背面印刷暨表面脏污检测机 Model 7213-AD 太阳能电池片的背面印刷瑕疵可能会造成外观瑕疵或者可靠度表现上的不良影响。在所有的背面印刷瑕疵之中，非正常丝网印刷过程所产生的铝凸，将会在模组封装过程之中造成*的破损率。Chroma 7213-AD背面印刷暨表面检测机应用了特殊光源设计来侦测常见的背面印刷瑕疵，甚至是铝凸瑕疵。太阳能电池片抗反射层镀膜检测机 Model 7214-D Chroma 7214-D是用来检查抗反色层镀膜的自动化光学检测机。由于4M的黑白摄像头以及RGB光源设计，Chroma可以确保每一个抗反色层镀膜的瑕疵都可以透过不同的光源与取像组成来检测。7201 光伏硅片外观暨表面脏污检测机 7202 光伏硅片品质检测机 7231 光伏硅片线锯痕检测机 7211-D 光伏电池片颜色分选机 7212-HD 光伏电池片正面印刷暨表面脏污检测机 7213-AD 光伏电池片背面印刷暨表面脏污检测机 7214-D 光伏电池片抗反射层镀膜检测机

Agilent 83497A 光电时钟恢复模块

Agilent 8157A 光衰减仪

Agilent 81637B 快速功率计

Agilent 34570A 数字万用表

Agilent 44476A 微波复用器模块

Agilent 70004A 光谱分析仪

Agilent 81000FI 光纤连接器

Agilent 81002FF 积分球

Agilent 81521B 光功率计探头

Agilent 81524A 光功率探头

Agilent 81525A 大功率光学探头

Agilent 81533A 接口模块

Agilent 81533B 接口模块

Agilent 81536A 光功率计传感插件

Agilent 81560A 可变光衰减器

Agilent 81567A 可变光衰减器模块

Agilent 8156A 光衰减器

Agilent 81578A可变光衰减器模块

Agilent 81610A回损测试模块

Agilent 81619A 光功率模块

Agilent 81624A 光学探头

Agilent 81625A 光功率探头

Agilent 81633A 分布式反馈(DFB)激光器

Agilent 81635A 双光功率传感器

Agilent 8163A光功率计主机

Agilent 8163B 光功率计

Agilent 8164A 光波测量系统主机

Agilent 81650A 单法布里-珀罗激光源

Agilent 81651A 光源模块

Agilent 81654A 法布里-珀罗激光源

Agilent 81662A 分布式反馈(DFB)激光器

Agilent 8168E 可调谐激光源

Agilent 83440D光波转换器

Agilent 83480A 数字通信分析仪

Agilent 83483A 双通道电模块

Agilent 83486A 光电模块

Agilent 83487A 光电模块

Agilent 83492A 多模时钟模块

Agilent 83493A 单模时钟恢复模块

Agilent 83494A 单模时钟恢复模块

Agilent 83495A 时钟恢复模块

Agilent 83496A 光电时钟恢复模块

Agilent 86100A 光示波器

Agilent 86100C 宽带示波器主机

Agilent 86103A 光电模块

Agilent 86103B 光电模块

Agilent 86105A 光电模块

Agilent 86105B 光电模块

Agilent 86106B 光电模块

Agilent 86107A 精密时基参考模块

Agilent 86120B 多波长计

Agilent 86120C 多波长计

Agilent 86142B 高性能光谱分析仪

Agilent 86146b 光谱分析仪

Agilent N7740 多端口光功率计

Ando AQ2140光功率计

Ando AQ2730光功率计模块

Ando AQ2742 光功率传感器

Ando AQ2743 光功率传感器

Ando AQ4211LD组件

Ando AQ4215 光功率计

Andu AQ-4137 光源

Andu AQ-4142 光源

Anritsu 69347B 信号源

Anritsu MN9610B光衰减器

Anritsu ms9710c 光谱分析仪

Anritsu MS9740A 台式光谱分析仪

CVI Melles Griot 05-LHP-211-1 激光器

Ericsson FSU-975 光纤熔接机

Exfo IQS-3150 可变衰减器

EXFO WA-1650 光波长计

HP 8153A 光功率计

HP 8153B 光波万用表

HP 81551MM 点光源模块

HP 83540A 插件信号源

HP 8595E 频谱分析仪

IFR GPS-101定位系统模拟器

Jdsu HA9 光衰减器

JDSU OLP-55 光功率计

Keithley 7001半导体开关系统

Keithley 2001A 数字多用表

Keithley 2400 数字源表

Keithley 2400-C 数字源表

Keithley 2500 数字源表

Keithley 2502 数字源表

KEITHLEY 6221 电流源表

Keysight 11708A 衰减器垫

Keysight 3458A 数字多用表

Keysight 34903A GP开关模块

Keysight 81570A 可变光衰减器模块

Keysight 81618A 接口模块

Keysight 81623B 锗光功率探头

Keysight 81630B 大功率光传感器

Keysight 81634B 低偏振相关光功率传感器

Keysight 81636B 光功率传感器

Keysight 8164B 光波测量系统主机

Keysight 82357B GPIB 卡

Keysight 86100D 宽带宽示波器主机

Keysight 86105C 光电采样模块

Keysight 86105D 光电模块

Keysight E3631A 三路输出电源

Keysight J7231B 抖动通信性能分析仪

Keysight N5181A 射频模拟信号发生器

Keysight N5980A 比特误码率测试仪

Keysight N7744A 多端口光功率计

Keysight N7748A 高性能光功率计

Newport 818-IG高性能光电二极管传感器

Newport 918-IG 高性能光电二极管传感器

Newport 918-ir 高性能光电二极管传感器

NI PCI GPIB小卡

NI PXI-1031 板卡

Photom EP-712 光功率计

Picometrix PT-12B 光电转换芯片

R&S FSP3 频谱分析仪

R&S NRPZ51 射频功率计

R&S NRPZ55 射频功率计

R&S NRP-Z55 射频功率计

Tektronix DPP125B 误码仪

Tektronix 80C02 光采样模块

Tektronix 80E04 双通道时域反射计

Tektronix DSA8200 采样示波器

Tektronix DSA8300 数字采样示波器

USHIO UXM-Q256BY点光源

YOKOGAWA AQ2200-421 单槽型光开关

YOKOGAWA AQ2201 帧控制器主机

 光示波器/眼图仪—Agilent 86100A, Agilent 86100B, Agilent 86100C, Agilent 86100D,Agilent 86105A, Agilent 86105B, Agilent 86116C, Agilent 86105D, Agilent 86103A, Agilent 86106B, Agilent 86103B, Agilent 83493A, Agilent 83496A, Agilent 86118A, Agilent 54754A，Tektronix DSA 8300，Tektronix DSA 8200，Tektronix 80C08，Tektronix 80C15，Tektronix 80C07, Tektronix 82A04，Tektronix 80E04,Anritsu MP2100B光谱分析：Agilent 86142B, Agilent 86146B,Agilent 86140B,Anritsu MS9740A,Anritsu MS 9710C,Anritsu MS9710B,Yokogawa 6317B,Yokogawa:6370D波长计：Agilent 86122A,Agilent 86120B,Agilent 86120C,EXFO WA1600,EXFO WA1650,EXFO WA1100光衰减器：Agilent 8156A,Agilent 8157A，Agilent 81570A,Agilent 81571A,Agilent 81576A,Agilent 81577A，Agilent 81567A,JDSU HA-9光万用表:Agilent 8164A,Agilent 8164B,Agilent 8163A,Agilent 8163B,Agilent 8153A,Agilent 8166B,Agilent N7744A,Agilent N7745A,Agilent N7748A,Agilent 81632B,Agilent 81633A,Agilent 81634A,Agilent 81634B,Agilent 81635A,Agilent 81636B,Agilent 86137B,Agilent 81623A,Agilent 81623B,Agilent 81624A,Agilent 81624B,Agilent 81625A,Agilent 81625B,Agilent 81626B,Agilent 81628B,Agilent N7752A误码仪：Agilent N5980A,Agilent N4901A,Agilent N4903A,Agilent N4906A光开关：Agilent 81595B,Agilent 86062C,JDSU SB optical switch可调光源：Agilent 81640A,Agilent 81642A,Agilent 81680A，Agilent 81682A，Agilent 81600B网络分析仪：Agilent E5071C，Agilent 8722ES,Agilent 8720ES,Agilent E5061B,Agilent E5062A，R&S ZNB射频信号源：Agilent E4438C,Agilent 8257D，Agilent N5181A,Agilent N5182A,Aglent N5182B,Agient N5183A,Agilent 8257D，Agilent 8267D频谱分析仪：Agilent E4440A,Agilent N9010A，Agilent N9020A，Agilent N9030AWifi/蓝牙测试仪：Anritsu 8852B,LitePoint IQxel 80，,LitePoint IQXEL 160，,LitePoint 2011，,LitePoint IQ flex，Agilent N4010A