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srs UGAPM300 气体分析仪

简要描述:srs UGAPM300 气体分析仪
UGAPM系列过程监测系统是设计用于分析过程气体的现代质谱仪。入口以低流速(约 5x10-5 mbar L/sec)连续采样气体,使该仪器成为在线分析的理想选择。UGAPM 系列过程监测仪运行范围为 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系统<1.5 秒响应时间 (0.1 Torr)多点分析多范围应用几乎零死体积系统烘烤

  • 产品型号:UGAPM300 分析仪
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-04-08
  • 访  问  量:653

详细介绍

品牌SRS/斯坦福产地类别进口
应用领域电子,电气

srs UGAPM300 气体分析仪

UGAPM系列过程监测系统是设计用于分析过程气体的现代质谱仪。入口以低流速(约 5x10-5 mbar L/sec)连续采样气体,使该仪器成为在线分析的理想选择。UGAPM 系列过程监测仪运行范围为 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系统<1.5 秒响应时间 (0.1 Torr)多点分析多范围应用几乎零死体积系统烘烤和样品线加热UGAPM 系列过程监测系统UGAPM 系列过程监测系统是专为分析过程气体而设计的现代质谱仪。它们的工作范围为 20 Torr 至 1 mTorr。入口以低流速(约 5x10-5 mbar L/sec)连续对气体进行采样,使该仪器成为在线分析的理想选择。UGAPM 应用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空镀膜/等离子体蚀刻、蒸发、溅射沉积、真空热处理、目标老化、泄漏检测/虚拟泄漏/解吸、污染物研究、小体积分析(0.1 mL 范围)等。这些分析仪也易于操作和维护。所有组件都可以从前面板或远程计算机进行控制。在UGAPM系统中,使用外径为1/16“或1/8"的SS毛细管来适应中真空采样。通过这种配置,工艺室和分析仪之间的死体积几乎为零。工作原理UGAPM内部视图UGAPM系统使用单级毛细管减压入口对1 mTorr至20 Torr的气体进行采样。在压力降低到10-6 Torr左右后,气流被发送到质谱仪(残余气体分析仪-RGA),该质谱仪测量每个目标质量的浓度。UGAPM Windows 软件为复杂的图形绘制和数据分析提供了图形用户界面。该软件还允许远程控制系统的阀门、加热器和泵。多毛细管入口可选的多入口阀有两种可能的配置。一种是多通道配置,可以应用于不同位置的特定样品压力。另一种是多量程配置,可应用于各种范围的样品压力。


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