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品牌 | SRS/斯坦福 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 电子,电气 |
srs UGAPM100 气体分析仪
UGAPM系列过程监测系统是设计用于分析过程气体的现代质谱仪。入口以低流速(约 5x10-5 mbar L/sec)连续采样气体,使该仪器成为在线分析的理想选择。UGAPM 系列过程监测仪运行范围为 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系统<1.5 秒响应时间 (0.1 Torr)多点分析多范围应用几乎零死体积系统烘烤和样品线加热UGAPM 系列过程监测系统UGAPM 系列过程监测系统是专为分析过程气体而设计的现代质谱仪。它们的工作范围为 20 Torr 至 1 mTorr。入口以低流速(约 5x10-5 mbar L/sec)连续对气体进行采样,使该仪器成为在线分析的理想选择。UGAPM 应用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空镀膜/等离子体蚀刻、蒸发、溅射沉积、真空热处理、目标老化、泄漏检测/虚拟泄漏/解吸、污染物研究、小体积分析(0.1 mL 范围)等。这些分析仪也易于操作和维护。所有组件都可以从前面板或远程计算机进行控制。在UGAPM系统中,使用外径为1/16“或1/8"的SS毛细管来适应中真空采样。通过这种配置,工艺室和分析仪之间的死体积几乎为零。工作原理UGAPM内部视图UGAPM系统使用单级毛细管减压入口对1 mTorr至20 Torr的气体进行采样。在压力降低到10-6 Torr左右后,气流被发送到质谱仪(残余气体分析仪-RGA),该质谱仪测量每个目标质量的浓度。UGAPM Windows 软件为复杂的图形绘制和数据分析提供了图形用户界面。该软件还允许远程控制系统的阀门、加热器和泵。多毛细管入口可选的多入口阀有两种可能的配置。一种是多通道配置,可以应用于不同位置的特定样品压力。另一种是多量程配置,可应用于各种范围的样品压力。
深圳市美佳特科技有限公司(简称“美佳特")成立于2010年,致力于光通讯测试、通用电子测量及5G测试服务。美佳特以“无线沟通,沟通无极限 "企业使命,业务聚焦于精密测试测量仪器的租赁、销售、维护、计量及测试环境搭建等一站式服务。N2843A Keysight 无源探头 Keysight 是德
主营产品:示波器主机和模块、眼图仪、光谱仪、信号源、频谱分析仪、网络分析仪、阻抗分析仪、光通信仪器、误码仪、光时域反射仪、可调谐激光源、光功率计、光衰减器等。合作品牌:安捷伦、是德、泰克、安立、爱得万、安腾、力科、马可尼(IFR)、R&S、EXFO等。N2843A Keysight 无源探头 Keysight 是德
主推:Agilent 86100D/C 示波器,keysight M8195A 任意波形发生器,Anritsu MS9740B/A 光谱分析仪,YOKOGAWA AQ6370D/E 光谱分析仪,keysight N1092A/C 采样示波器,keysight E8257D 模拟信号发生器,keysight E5071C 矢量网络分析仪
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