光谱分析仪由一个入射狭缝，一个色散系统，一个成像系统和一个或多个出射狭缝组成。在光谱的测量、各参考点通路信号光功率、各参考点光信噪比、光放大器各个波长的增益系数和增益平坦度的测试都可以使用光谱分析仪。光谱分析仪现在也集成了WDM的分析软件，可以很方便地把WDM的各个波长的中心频率、功率、光信噪比等参数用菜单的方式显示出来。光谱分析仪的总体发展趋势是测量精度更高、测量范围更大、体积更小、智能化程度更高、使用更方便。
1、波长范围
光谱分析仪能够满足所有规定性能的被测光信号波长范围。
2、波长准确度
光谱分析仪测量波长的正确度。为光谱分析仪测定波长与实际波长（标准波长）的大偏差。
3、光谱分辨带宽
能够分辨被测信号两相邻谱线的能力，表示为被测光信号的半值（-3dB）宽度。
4、电平测量灵敏度
光谱分析仪测量微弱光信号的能力，为光信号电平等于噪声电平时的值。
5、动态范围
光谱分析仪可以同时测量到的大信号与小信号之比。常用动态范围是指峰值附近（如距峰值±0.5nm，土1nm或±5nm处）的动态范围，以dB士Xnm形式表示。
6、电平测量准确度
光谱分析仪测量光信号幅度的正确度。幅度测量误差源主要有:校准光源、输入衰减器、放大电路增益控制、分辨带宽等。
